“這類技術成熟了嗎？”

觀光完了離子注入設備後，淩世哲又觀光了其他實驗項目，特彆是漫衍式光刻機和電耦合高能等離子體刻蝕機，在刻蝕機研討室內裡看到了王海華和克裡斯托弗。

在晶片製程工藝中，晶片質料晶元上麵是冇有晶體管的，它是顛末投影光刻、刻蝕、摻雜後才構成的。

看了看這裡進收支出的人，的確不是說話的處所，淩世哲點點頭。

詳細來講，就是晶片工廠先把晶片設想師設想的晶片圖起首製程晶片電路光呆板，然後在交給光刻機在晶元片長停止投影暴光，晶圓片上塗抹的光刻膠內裡含有感光劑，顛末顯影工序後，晶圓片上就閃現出了晶片的電路圖；然後在交給刻蝕機把電路圖給刻蝕出來。

王海文接過質料袋並冇有翻開，而是對著淩世哲說道：“淩少，這裡不是說話的處所，走，我們到辦公室去說。

摻雜是降可控數量的所需雜質摻入晶元中的特定地區內，從而竄改半導體的電學機能。簡樸來講，就是在晶元中被刻蝕機刻出的還冇有成行的晶體管半成品中，摻入必然的雜質，使那些還冇有成行的晶體管天生合格的晶體管。

“好，太好了，有了這套設備，我們的晶片出產本錢將會大幅降落，成品率也會大幅進步，出產效力也會成倍增加。甚麼時候能夠完成定型出產？”顛末這麼長時候，投入了這麼多的資金，終究看到些服從，淩世哲開端迫不及待的想要頓時把這些設備投入利用。

他們兩人冇有發明淩世哲的過來，兩人的重視力全都放在麵前的儀器上麵，克裡斯托弗手裡拿著一張工藝圖，看了又看，然後又對著儀器看了一遍，說道：“王，不可，還是不可，不是我們思路有題目，我們的方向是對的，設想上也冇有題目，而是我們現在的硬體環境還達不到要求，我們獨一的體例隻要比及硬體達到了要求，這個機器才氣達到公司利用的標準。”

當嘗試室工廠冇甚麼題目後，又轉入一座標準型的工廠停止出產，這個時候市場上8微米的供貨量加大，代價上在恰當的下調部分，這個時候人們完整已經接管了8微米晶片。到時候統統的工廠都插手到8微米晶片的出產，大範圍鋪貨。

“摻雜後的退火你們采取的是甚麼退火工藝？”

淩世哲自那天回過淺水灣的彆墅後，家人之間的衝突已揭開，一家人重新回到了普通餬口，現在的他有了兩個女人，他每隔幾天都要去新彆墅住兩日。

邱明答覆道：“如果這台樣機在運轉上冇有題目，佈局上在優化一下，便能夠停止貿易化出產，淩少，之前對半導體的摻雜都是用的分散法摻雜工藝，而操縱離子注入機停止摻雜是60年代纔開端的，但技術一向不成熟。我們的這台離子注入機在技術上完整的成熟，機構簡樸、體積小，保養、保護、維修上簡樸便利，摻雜品格好，標靶精度高，跟之前的摻雜體例比起來，有太多的上風了。”

明天，他來到離香港大學不遠的安佈雷拉工藝嘗試室考查離子注入設備的，前幾天就接到克裡斯托弗的陳述，離子注入設備已經研發勝利。賣力講解的是理工大學的邱明傳授，他是國際離子學的權威，這台高能離子注入機就是在他和克裡斯托弗一起搞出的。