如果不想等候，那就隻要一個彆例，重新找一個不那麼龐大的刻蝕機來臨時的替代它，比及icp刻蝕機完成今後，在把它換返來。可一時之間淩世哲又去那邊找能夠替代的刻蝕機呢？

“如何了，看你們的神采，莫非碰到甚麼困難了。“淩世哲看到三位的神采感到非常的奇特，不至於吧，技術要點全都跟你們點出來了，你們按部就班的還搞不出來？

光刻機在最早利用的是打仗式光刻機，厥後又生長出靠近式光刻機，它是由打仗式光刻機的改進而來的。

淩世哲閉著眼睛想了想，問道：“除了icp刻蝕機以外，另有其他停滯冇有？”

它是一種高密度的等離子體刻蝕設備，特性是具有高壓，簡樸的氣體異化；改進的可反覆性，最關頭是它對整合電路的刻蝕中對整合電路的整合度得進步上冇有任何上限，不管你的整合電路是微米級，還是奈米級，哪怕就是到了埃米級他都一樣能夠勝任。而其他的刻蝕機就分歧了，他對整合度都有上限要求，整合度達到了上限就必須改換，能夠說icp刻蝕機將來的生長方向。

“小淩，阿誰漫衍式光刻機，我們已經完成了百分之六十的設想，要全數完成設想還要等一段時候，這個機器固然也是相稱的龐大，但我們有信心能夠在本年年底之前完成全部的設想，來歲二三月份就會製造出第一台樣機出來。現在關頭的是我們被卡在了icp刻蝕機的技術上，我們此次來就是看小淩你有冇有甚麼處理的體例。”王海華不美意義的說道，本來工藝設想拜托給了他們去，技術要點都點出來，隻需求按部就班便能夠，但是現在兩個黌舍調集了全數的精乾力量都完不成，隻好來找淩世哲要處理體例，他們三人都感到非常的臉紅。

正式因為它的這些長處，淩世哲當初交給王海華的資猜中纔會帶有icp刻蝕機的質料，固然在資猜中他點出了實際方向和關頭技術要點，但icp刻蝕機技術過分龐大，憑著目前的前提還不能把它給出產出來，這已經超出了目前的技術才氣範圍。

徐宏博說道：“淩少是如許的，cmos工藝設想我們現在已經完成了60%，現在關頭的是我們被當中的電感耦合等離子體刻蝕機的題目上碰到了停滯，我們發明要想處理這個題目非得花上10年時候以上。”

想了半天淩世哲也冇想出體例來，昂首看到三位老傳授一向在看著他，一時之間有點不美意義，說道：“不美意義三位傳授，我走神了，我一向在想那種刻蝕機不那麼龐大，能夠先臨時得用著來，比及icp技術成熟今後，在利用它。”

“不錯嘛，進度很快嘛，就連漫衍式投影光刻機的技術題目你們也處理了？”淩世哲說的漫衍式投影光刻機是光刻機的一種，它不是用來對矽晶圓停止刻蝕的，而是用來暴光的。在晶片個出產過程中，矽晶圓大要要塗抹上一層抗蝕劑，那是一種帶有芳香味的具有一點黏度及色彩的液體，光照後能竄改抗蝕才氣的高分子化合物，也就是俗稱的光刻膠。

淩世哲看到三人望著他，眼裡充滿幽怨眼神，反應過來，剛纔本身表示打擊了他們，事已至此他也不好說甚麼，想了想，說道：“如許吧三位傳授，我一時想不出甚麼體例，給我幾天時候好好想想好嗎？”