汗青上要到91年纔出產出天下第一台icp，又顛末端近10年時候才生長成熟。

正式因為它的這些長處，淩世哲當初交給王海華的資猜中纔會帶有icp刻蝕機的質料，固然在資猜中他點出了實際方向和關頭技術要點，但icp刻蝕機技術過分龐大，憑著目前的前提還不能把它給出產出來，這已經超出了目前的技術才氣範圍。

光刻機在最早利用的是打仗式光刻機，厥後又生長出靠近式光刻機，它是由打仗式光刻機的改進而來的。

淩世哲的加拿大工廠所利用的光刻機就屬於打仗式光刻機，它是由日本尼康公司出產的，尼康也是天下上第一個發明光刻機的公司。淩世哲搞的光刻機是厥後才呈現的，他跳過了打仗式、靠近式光刻機的範圍，直接進步到漫衍式光刻機。

“小淩，阿誰漫衍式光刻機，我們已經完成了百分之六十的設想，要全數完成設想還要等一段時候，這個機器固然也是相稱的龐大，但我們有信心能夠在本年年底之前完成全部的設想，來歲二三月份就會製造出第一台樣機出來。現在關頭的是我們被卡在了icp刻蝕機的技術上，我們此次來就是看小淩你有冇有甚麼處理的體例。”王海華不美意義的說道，本來工藝設想拜托給了他們去，技術要點都點出來，隻需求按部就班便能夠，但是現在兩個黌舍調集了全數的精乾力量都完不成，隻好來找淩世哲要處理體例，他們三人都感到非常的臉紅。

它是一種高密度的等離子體刻蝕設備，特性是具有高壓，簡樸的氣體異化；改進的可反覆性，最關頭是它對整合電路的刻蝕中對整合電路的整合度得進步上冇有任何上限，不管你的整合電路是微米級，還是奈米級，哪怕就是到了埃米級他都一樣能夠勝任。而其他的刻蝕機就分歧了，他對整合度都有上限要求，整合度達到了上限就必須改換，能夠說icp刻蝕機將來的生長方向。

它屬於投影式暴光技術範圍，每一步隻投影一個暴光場，暴光完成後步進到另一個位置停止暴光，順次完成全部晶圓片的暴光。這類光刻機比上麵兩種光刻秘密先進的多，利用漫衍式光刻機，出產晶片的整合度也要比前兩種光刻機高上很多。

淩世哲下認識的點了點頭，底子冇有熟諳到如許有多麼的不當。

三人站了起來，淩世哲下樓把他們送到了公司門口，等三人上車拜彆後，淩世哲纔回身。

光刻膠內裡含有感光劑，把它塗抹在晶圓片上烘乾後，在交給光刻機停止投影暴光，就跟拍照拍照一樣。

現在才71年，明顯還達不到製備的前提。

“現在題目就卡在這個刻蝕機上，隻要刻蝕機的題目處理，那麼全部工藝就算大功勝利。”王海華說道。

“那邊，那邊，我們冇有完成淩少設想任務，還要來打攪淩少，是我們不美意義纔對。”三位老先生倉猝說道，徐宏部落格氣了兩句後，不肯定的問道：“剛纔聽淩少的意義，莫非你另有好幾套其他的光刻機的技術處理計劃嗎？”